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LUYOR-3325G黄绿光检查灯用于晶圆缺陷检查

发布时间: 作者:上海路阳仪器 技术文档组 点击次数:
本篇摘要

上海路阳仪器LUYOR-3325G黄绿光检查灯利用选择性波长,清晰显现晶圆表面划痕与微小颗粒缺陷,助力半导体行业精密质检。

晶圆缺陷检查黄绿光表面检查灯 LUYOR-3325G

wafer 晶圆颗粒缺陷检查灯 LUYOR-3325G 系列是一款黄绿光表面检查灯。检测灯的原理是利用适合的 LED 灯源,通过 LED 发光,经过光学透镜聚焦的光源,照在工件表面折射出光路,使得操作员肉眼可识别出工件表面的灰尘、刮痕、毛刺、凹凸、油墨等瑕疵点,取代传统的照明设备和光学系统机台,直接通过照明光线和肉眼,观测出一般玻璃表面、部件表面的瑕疵,极大地节省了一般工厂的采购成本。

LUYOR-3325G 检查灯采用人眼最敏感的 580nm 波长光,来做最简单与明确的判别,可检查到 1μm 以下的刮痕或微粒子,几乎可检测出所有尘埃,大大降低产品不良率。使用寿命为 2 万小时以上。光源强度可达 30 万 LX,最小可以检测 1μ 的表面脏污,比传统的检查灯效用增强 10 倍。LUYOR-3325G 可根据使用场景,使用便携手持式或桌面式(安装在台式支架上)。

LUYOR-3325G 为交流电源供电,可以手持式操作,也可以台式操作。

LUYOR-3325GD 为锂电池供电,可以手持式操作,也可以台式操作。

LUYOR-3325G黄绿光检查灯用于晶圆缺陷检查(pic1)

晶圆半导体检测灯 LUYOR-3325G

晶圆检测:用于晶圆测试的黄绿光 LED 检测灯,LUYOR-3325G 是专为晶圆质量保证和测试而设计的光学晶圆检测设备。

LUYOR-3325G黄绿光检查灯用于晶圆缺陷检查(pic2)

使用黄绿光检查灯进行晶圆检测:

  • 使用无紫外线辐射的黄绿光灯进行晶圆检测
  • 更换用于晶圆检测的紫外灯
  • 在不使用汞蒸气灯的情况下测试晶圆
  • 设计为滤波绿光灯或滤光黄光灯,用于晶圆检测
  • 使用无紫外线和无汞的 SECU-CHEK 晶圆测试灯进行晶圆表面检测

LUYOR-3325G黄绿光检查灯用于晶圆缺陷检查(pic3)

为什么使用 LUYOR-3325G 半导体检测灯进行晶圆表面检测?

  • 晶圆生产所需的高工艺可靠性
  • 需要经济高效且无故障的测试操作
  • 晶圆测试对于晶圆制备和芯片生产的进一步成本密集型步骤至关重要
  • 根据行业标准要求的专业解决方案

晶圆生产中存在哪些误差,LUYOR-3325G 半导体检测灯的识别能力如何?

  • 使用过滤后的黄光灯可以很好地检测到晶圆的缺陷
  • 通过晶圆测试检测夹杂物
  • 通过目视晶圆测试检测污染物
  • 用黄绿光观察生长障碍
  • 在光学晶圆测试期间识别面纱
  • 使用 LUYOR 晶圆检测灯分析条纹
  • 与用于晶圆测试的紫外灯和汞灯相比,可以更好地检测微观结构
  • 通过晶圆检测检测生长孔
  • 检查黄绿色灯的高对比度边缘变平
  • 在光学晶圆检测中可以发现边缘干扰
  • 使用晶圆上的质量检测灯检测结构变化
  • 使用紫外黄光和绿光灯检测晶圆生产中的夹杂物
  • 用过滤后的黄光灯识别不均匀

LUYOR-3325G黄绿光检查灯用于晶圆缺陷检查(pic4)

引用本文

上海路阳仪器有限公司. 《LUYOR-3325G黄绿光检查灯用于晶圆缺陷检查》[EB/OL]. 上海路阳仪器有限公司, 2024-09-05. https://www.luyor.net/case/65.html.

上海路阳仪器有限公司

成立于 2005 年,专注紫外光源、荧光检测与紫外辐照设备的研发制造,产品覆盖荧光渗透/磁粉探伤灯、荧光检漏套装、生物膜检测灯、细胞光毒性辐照仪、荧光蛋白激发光源与转速测量仪器,服务无损检测、轨道交通、食品药品、化妆品与生命科学研究等领域。本文由路阳技术文档组依据产品实测数据与行业标准编写。

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