LUYOR-3360Y黄光手电筒应用

LUYOR-3360Y 580nm黄光手电筒

LUYOR-3360Y黄光室专用黄光手电筒只发出580nm的黄光，不含紫外和蓝光，不会让光刻胶感光报废，所以LUYOR-3360Y能在黄光区内随意手持照明检查，采用侧光斜照使用，靠反光凸显微小缺陷。

LUYOR-3360Y黄光手电筒应用：

晶圆表面外观检查

晶圆颗粒、脏污、白点、胶渣

斜打黄光，微小粉尘、残留光刻胶碎屑、水渍、机台掉落杂质会反光显现，提前挑出不良片，避免曝光报废。

光刻胶涂布异常

胶厚不均、条纹、针孔、气泡、缩孔；

边缘溢胶、晶圆背面沾胶；

黄光侧光照射，薄膜厚度差异会形成明暗色差，一眼看出涂胶缺陷。

晶圆划痕、崩边、缺角

斜射黄光强化划痕反光，排查来料或机械手传送造成的硅片损伤。

光刻图形缺陷检查（显影后初检）

显影完还没进量测机，先用黄光手电快速初筛：

图形断线、桥连、偏移、网点缺失；

残留残胶、显影不净；

不用上机台，快速筛选明显不良，减少机台占用。

掩膜版（光罩）简易检查

黄光安全光不会损伤掩膜感光层，用来查看：

掩膜表面灰尘、污点、划痕；

保护膜脏污、破损；

严禁白光照射掩膜，会造成损伤。

机台腔体、管路、托盘治具点检

涂胶机吸盘、载片台、管路内壁残留光刻胶、结晶；

腔体内部粉尘、药液滴落痕迹；

真空吸盘异物，防止下一片晶圆被污染；

设备内部不能开白光，只能用黄光手电检修。

静电、水渍、水汽痕迹排查

黄光低湿度环境下，水汽、冷凝印、静电吸附脏污在侧光下对比度极高，方便排查温湿度异常带来的不良。